準(zhǔn)分子激光器：CL 7700
準(zhǔn)分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準(zhǔn)分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。
CL
7700技術(shù)參數(shù)：
激光介質(zhì) | ArF | KrF |
波長 (nm) | 193 | 248 |
最大脈沖能量 (mJ) | 400 | 750 |
最大重復(fù)頻率 (Hz) | ||
СL 7720 | 20 | |
CL 7750 | 50 | |
最大平均功率 (W) | ||
СL 7720 | 7 | 15 |
CL 7750 | 14 | 35 |
脈沖能量穩(wěn)定度(sigma, %) | < 2 | |
光斑尺寸 (VхH, mm) | 28 х 10 | |
光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH) | 4.5 х 2 | |
脈沖持續(xù)時間 (FWHM, ns) | 20 | 25 |
冷卻方式 | 水冷 | |
重量 (kg) | 190 | |
尺寸 (LхWхH, mm) | 1430 х 380 х 760 | |
電源 | 220/380 V, 50 Hz, < 3500 VA | |
CL
7700主要特點(diǎn)：
高脈沖能量
閘流管開關(guān)
功率穩(wěn)定運(yùn)行模式
內(nèi)置的能量檢測器
預(yù)混料氣體，使用簡單
計算機(jī)控制
應(yīng)用：
材料加工
激光剝離
脈沖激光沉積技術(shù)
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