準分子激光器：7X200
準分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。
7X200技術(shù)參數(shù)：
波長 (nm) | 248 |
最大脈沖能量 (mJ) | 1000 |
最大重復(fù)頻率(Hz) | 200 |
最大平均功率 (W) | 150 |
脈沖能量穩(wěn)定度(sigma, %) | < 1.0 |
光斑尺寸 (VхH, mm) | 36 x 17 (± 2) |
光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH) | < 3.5 x 1.10 |
脈沖持續(xù)時間 (FWHM, ns) | 30 |
冷卻方式 | 水冷 |
重量 (kg) | 750 |
尺寸 (LхWхH, mm) | 2300 x 750 x 1200 |
電源 | 380/220 V, 50/60 Hz, 1200 VA |
7X200主要特點：
高脈沖能量
高平均功率
高壓固態(tài)開關(guān)
功率穩(wěn)定運行模式
內(nèi)置的能量檢測器
內(nèi)置能量無油真空泵與鹵素過濾器
預(yù)混料氣體，使用簡單
計算機控制
應(yīng)用：
脈沖激光沉積技術(shù)
準分子激光退火